한국산업기술시험원(원장 김세종, 이하 KTL)은 반도체 초순수 입자 분석용 표준물질 2종을 개발해 우리 기업의 국내외 시장 진출 발판을 마련했다고 8일 밝혔다.

초순수는 물을 구성하는 수소와 산소를 제외한 나머지 물질(물속 무기질, 미립자, 박테리아, 미생물, 용존 가스 등)을 모두 없앤 순수한 물이다. 반도체 표면은 초미세회로로 구성돼 있기 때문에 초순수는 각종 부산물, 오염물 등을 세척하기 위한 필수적인 공업용수로, 최고 난이도의 수처리 기술이 필요해 전 세계적으로도 일부 선진국만이 기술을 보유하고 있다.

KTL 직원이 초순수용 입자표준물질 실험 장비를 다루고 있다./KTL/

이에 정부는 상용표준물질 개발과 보급 사업을 통해 국가 핵심 산업 경쟁력 제고와 해외기술 의존도 경감에 앞장서고 있다.

특히 KTL을 관련 과제 수행기관으로 지정해 반도체 연마제로 쓰이는 초순수 입자 분석용 콜로이달 실리카 2종을 개발하고 KOLAS ISO 17034 표준물질로 등록을 완료하는 성과를 거뒀다.

KTL은 이를 바탕으로 입자의 크기별 개수를 감지하고 측정하는 초순수 입자계수기 성능시험 및 정도검사를 추가로 진행할 예정이다. 이로써 일본과 미국이 주도하고 있는 입자성 표준물질을 국내에서도 공급할 수 있을 것으로 기대된다. 이를 통해 시험 수수료 등 소요되는 경제적 비용을 절감할 뿐만 아니라 시험 일정을 매우 효과적으로 단축시켜 국내 기업에 실질적인 도움이 될 전망이다.

강진태 기자